Les MEMS sont le domaine par excellence où il est nécessaire de faire de la « vraie » multiphysique, c'est-à-dire de coupler fortement (dans le sens mathématique du terme) des phénomènes de différentes natures :

• l’électromagnétisme
  avec prise en compte des forces de Coulomb (approche énergétique ou via le tenseur de Maxwell)

• la mécanique des structures
  pour appréhender le déplacement des structures

• la micro-fluidique
  avec prise en compte de la mouillabilité de l’interface et des phénomènes de tension de surface