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MEMS

La simulation multiphysique au cœur des MEMS

Les MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) associent des phénomènes électriques, mécaniques et fluidiques à l’échelle microscopique. Leur conception nécessite une approche fortement couplée, capable de représenter simultanément les différentes physiques mises en jeu.

SIMTEC accompagne le développement et l’optimisation de dispositifs MEMS en s’appuyant sur son expertise en simulation multiphysique.

Des couplages physiques indispensables

Les MEMS sont le domaine par excellence où il est nécessaire de réaliser une véritable simulation multiphysique, avec un couplage fort entre plusieurs phénomènes physiques.

Nos études concernent notamment :

  • L’électromagnétisme, avec la prise en compte des forces de Coulomb, par approche énergétique ou à l’aide du tenseur de Maxwell.
  • La mécanique des structures, afin d’analyser les déplacements, les déformations et le comportement des microstructures.
  • La microfluidique, en intégrant la mouillabilité des interfaces ainsi que les phénomènes de tension de surface.

Une technologie au croisement de plusieurs physiques

Cette approche permet notamment d’étudier et d’optimiser :

  • les capteurs MEMS ;
  • les microactionneurs ;
  • les composants microfluidiques ;
  • les microsystèmes couplant plusieurs phénomènes physiques.

La maîtrise des couplages multiphysiques est aujourd’hui un élément clé dans la conception des microsystèmes de nouvelle génération.

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